洁净度的等级标准ISO-14644

发布时间:2017-07-28  阅读次数:1585

盈蓝技术

       ISO-14644是国际标准,现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准,美国原来应用的是美国联邦标准209A、B、C、D、E,现在美国也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS 209B,现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。

       ISO-14644的洁净度的等级标准如下。

洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644

空气洁净度等级(N)

≥表中粒径的最大浓度限值(个/m3

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

/

/

/

/

2

100

24

10

4

/

/

3

1000

237

102

35

8

/

4

10000

2370

1020

352

83

/

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

/

/

/

352000

83200

2930

8

/

/

/

3520000

832000

29300

9

/

/

/

35200000

8320000

293000

 

注:① 每点应至少采样3次。

       ② 本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。

       ③ 根据工艺要求可确定1~2粒径。

       ④ 根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定(粒径0.1μm~5μm)

                          (个/m3)

            式中N为洁净度等级在1~9级中间可以0.1为最小单位递增量插入。

 

       国标洁净等级标准ISO- 14644与各国洁净度的等级标准的比较见表。

国际标准ISO-14644与各国标准的比较表

国际标准

ISO-14644

中国标准

GB 50073

美国标准

FS 209E

俄国标准

TOCT 50766

日本标准

TIS 9920

德国标准

/

/

/

P0

/

/

1

1

/

P1

1

1

2

2

/

P2

2

2

3

3

M1.5

P3

3

3

4

4

M2.5

P4

4

4

5

5

M3.5

P5

5

5

6

6

M4.5

P6

6

6

7

7

M5.5

P7

7

7

8

8

M6.5

P8

8

8

9

9

/

P9

/

9

 

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