洁净室静压差的测定

发布时间：2017-08-17 阅读次数：1219

盈蓝技术

1、静压差的测定要求：
首先，静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进行的。
第二，应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到直通室外的房间。
第三，测管口设置在室内不受气流干扰的地方。
第四，所测数据应精确到1.0Pa。

2、静压差的测定步骤：
首先，是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。
第二，用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之间，走廊与外界之间的压差。
第三，记录在案

3、静压差测定用的仪器：
静压差测定一般采用的仪器为YJB-150型补偿式微压计，倾斜式压力计，精密指针式压力计或灵敏度小于1.0Pa的其它压力计。

4、合格标准：
首先，不同级别的洁净室（区）与非洁净室洁净室（区）之间的静压差应不小于5Pa。
第二，洁净室（区）与室外的静压差应不小于10Pa。
第三，对于洁净度等级严于5级的单相流洁净室在开门时，门内0.6m处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

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